Mittels Röntgenfluoreszenz können in dem Elementbereich, in dem die Röntgenfluoreszenz im industriellen Maßstab einsatzfähig ist, Schichtdicken zum Beispiel galvanischer Schichten sowie deren Zusammensetzung analysiert werden. Ebenso können beispielsweise im Bereich des Silikonisierens von Papier und Folien

Auftragsgewichte gemessen werden, was wichtig ist, um auch in diesem Zweig die Funktionalität der Schichten sowie Ressourcenschonung zu erreichen.

Bei galvanischen Schichten können Schichtdicken beginnend im unteren Nanometerbereich bis in den Micrometerbereich gemessen werden. Auch ist die Messung von bis zu 4 Schichten auf einem Basismaterial möglich. Voraussetzung dabei ist, dass die Fluoreszenzstrahlung aller Elemente der Schichten bis an die Oberfläche durchdringen und damit vom Detektor erfasst werden können.