Wichtige und auch preisbestimmende Komponenten eines Röntgenfluoreszenzanalysegerätes – RFA-Gerätes – sind beispielsweise die Anzahl und Art des Detektors, die Röntgenröhre, der Probenwechsler, Zusatzaggregate wie Kühler oder Kompressoren zur Herstellung eines Vakuums. Bei den Schichtdickenmessgeräten die Ausstattung mit einem automatisierten XY-Tisch, Größe der Probenkammer und damit des Gerätes gesamt, welche Art von Röntgenoptik verbaut ist etc..

Auch die Ausstattung der Geräte mit Software wird von den Herstellern unterschiedlich gehandhabt und ist ebenfalls ein den Preis beeinflussendes Element.

Aufgrund dieser nur sehr unvollständig beschriebenen Vielzahl von Ausstattungskomponenten kann nicht einfach ein Zirkapreis benannt werden. Vielmehr muss das Gerät entsprechend der auszuführenden Messaufgaben konfiguriert werden, woraus sich dann der Preis ergibt.