Röntgenfluoreszenzanalyse

O-Serie

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Messprinzip: von oben nach unten
Röntgenröhre:: 50W Mikrofokus Röntgenröhre mit Molybdän-Anode
Optik: Polykapillare mit 80µm FWHM
Detektor: SDD-Detektor
Messabstand: fester Abstand 2,54mm
XY-Tisch:: programmierbarer XY-Tisch, Verfahrweg 127 x 152mm
Element Bereich: Aluminium 13 bis Uran 92

Die O-Serie kombiniert hohe Leistung mit kleinem Messfleck. Dies wird durch die Polykapillar Optik ermöglicht, die die sonst in den Bowman Standard Systemen verbaute Kollimatorbaugruppe ersetzt. Die Optik ist so konstruiert, dass sie die aus dem Austrittsfenster der Röhre austretende Röntgenstrahlung auf eine sehr kleine Spotgröße fokussiert (80μm FWHM), wobei praktisch 100% der Röhrenstrahlung erhalten bleiben. Anstatt also die Röntgenstrahlen abzuschwächen, die nicht durch die kleinen Öffnungen eines Kollimators passen, wie es bei Kollimatorsystemen der Fall ist, ermöglicht die Polykapillaroptik, dass fast die gesamte Röntgenstrahlung aus der Röhre die Probe erreicht.

Das Ergebnis ist eine viel größere Empfindlichkeit für die Prüfung sehr kleiner Komponenten oder dünner Schichten. Bei kürzeren Prüfzeiten kann eine noch bessere Wiederholbarkeit beim Vergleich von optischen Systemen mit einem Kollimator ähnlicher Größe erreicht werden. Die Standardkonfiguration umfasst die 80μm Polykapillaroptik, einen programmierbaren XY-Tisch und einen hochauflösenden SDD-Detektor zur Verarbeitung der höheren Zählraten. Die Kamera verfügt über eine 45-fache Videovergrößerung und einen 5-fach Digitalzoom. Das optische System hat einen sehr kleinen Messabstand, weshalb die Proben flach sein müssen.

 
Spezifikationen:

Röntgenanregung

50 W (50kV, 1mA) Mikrofokus Röntgenröhre mit Mo-Anode und 80µm Polykapillaroptik FWHM

 

Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen

5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan

Detektor

SDD-Detektor mit 135eV Auflösung

 

Filter

2 Primärfilter

Fokusabstand

Fester Fokusabstand 2,54mm

 

Digitaler Pulsprozessor

Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler

Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit

Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur

Video Vergrößerung

45x: Standard

 

Prozessor:

Intel, CORE i5 3470 (3.2GHz), 8GB DDR3 Speicher,

Microsoft Windows 10 Prof, 64bit equivalent

Umgebungsbedingungen:

20°C bis 25°C und bis zu 98% Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend

 

Kamera:

1/4″ CMOS-1280×720 VGA Auflösung

Gewicht

53kg

 

Netzanschluss:

150W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47Hz bis 63Hz

Programmierbarer XY-Tisch:

Größe: 380 x 330mm Verfahrweg: 127 x 152mm

 

Maße (H x B x T):

Kammer: 140mm, 310mm, 335mm

Außenmaße: 450mm, 450mm, 600mm

Element Bereich

Aluminium 13 bis Uran 92

   

Neben der Messung der Schichtdicke leisten alle Bowman Schichtdickenmessgeräte auch die Analyse der Zusammensetzung der Schicht – Ausnahmen: leichte organische Elemente oder Elementgehalte unterhalb der Nachweisgrenze der jeweiligen Messanordnung. Die Bestimmung der Elemente der Schicht – meist handelt es sich um metallische Elemente oder Legierungen – erfolgt zeitgleich mit der Messung der Schichtdicke.

Die Analyse der Legierung ist also einfach handhabbar, zuverlässig im Ergebnis und schnell in der Umsetzung. In der Anwendung (Kalibrierung) wird diese Messaufgabe entsprechend mit hinterlegt.

Bei Bowman Geräten mit programmierbarem XY-Tisch – P, L, O, M, W-Serie – können die einprogrammierten Messpunkte ebenfalls der Anwendung (Kalibrierung) zugeordnet werden. Ebenso sind aber auch das linienförmige oder netzförmige Abrastern oder das linienförmige unterbrechungsfreie Scannen möglich.

Übersichtliche Darstellungen der Bedienoberfläche für die Tagesroutine, leicht durch den Nutzer selbst zu erstellende Kalibrierungen und Anwendungen, erweiterte Funktionalitäten für Vielnutzer, ein anpassbarer 1-Click Berichtsgenerator sowie Datenexporte im PDF- oder CSV-Format, sind nur einige Merkmale, die die Bedienung des Bowman für jeden Anwender leicht, flexibel und umfassend einsetzbar machen.

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