Röntgenfluoreszenzanalyse

B-Serie

Messprinzip: von oben nach unten

Röntgenröhre:: 50W Mikrofokus Röntgenröhre mit Wolfram-Anode

Detektor: SiPIN, optional SDD

Messabstand: fixer Fokus mit Fokuslaser (optional multivariabler Fokus)

Z-Achse: motorisiert, Verfahrweg 132mm

Element Bereich: Aluminium 13 bis Uran 92

Die B-Serie ist die Basiskonfiguration für Messungen von oben nach unten. Der Probentisch ist eine feste Grundplatte; die Bediener positionieren die Teile manuell im gewünschten Bereich für die Prüfung. Dazu werden die Teile in die Kammer gelegt und anhand des Videobildes auf die gewünschte Stelle innerhalb des Fadenkreuzes auf dem Bildschirm ausgerichtet. Die Probenkammer ist die gleiche wie bei der Serie P, mit der geschlitzten Konfiguration, jedoch ohne den programmierbaren XY-Tisch.

Die Standardkonfiguration umfasst einen einzelnen festen Kollimator und eine Kamera mit festem Fokus. Der SiPIN-Detektor ist zusammen mit der langlebigen Mikrofokus-Röntgenröhre deutscher Herstellung im Lieferumfang enthalten. Wie bei allen Bowman-Modellen kann die B-Serie mit mehreren Kollimatoren, einer Kamera mit variablem Fokus oder einem SDD-Detektor aufgerüstet werden.

Spezifikationen:

Röntgenanregung

50 W (50kV, 1mA) Mikrofokus Röntgenröhre mit W-Anode

Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen

5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan

Detektor

SiPIN-Detektor mit 190eV Auflösung oder besser

Filter / Kollimatoren

4 Primärfilter / ein fester Kollimator

Fokusabstand

Fixer Fokus mit Fokuslaser (optional multivariabler Fokus)

Digitaler Pulsprozessor

Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler

Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit

Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur

Video Vergrößerung

30x: Standard

Prozessor:

Intel, CORE i5 3470 (3.2GHz), 8GB DDR3 Speicher,

Microsoft Windows 10 Prof, 64bit equivalent

Umgebungsbedingungen:

10°C bis 40°C und bis zu 98% Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend

Kamera:

1/4″ CMOS-1280×720 VGA Auflösung

Gewicht

34kg

Netzanschluss:

150W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47Hz bis 63Hz

Programmierbarer XY-Tisch:

nicht lieferbar

Maße (H x B x T):

Kammer: 140mm, 310mm, 335mm

Außenmaße: 450mm, 450mm, 600mm

Element Bereich

Aluminium 13 bis Uran 92

Stichworte:

Neben der Messung der Schichtdicke leisten alle Bowman Schichtdickenmessgeräte auch die Analyse der Zusammensetzung der Schicht – Ausnahmen: leichte organische Elemente oder Elementgehalte unterhalb der Nachweisgrenze der jeweiligen Messanordnung. Die Bestimmung der Elemente der Schicht – meist handelt es sich um metallische Elemente oder Legierungen – erfolgt zeitgleich mit der Messung der Schichtdicke.

Die Analyse der Legierung ist also einfach handhabbar, zuverlässig im Ergebnis und schnell in der Umsetzung. In der Anwendung (Kalibrierung) wird diese Messaufgabe entsprechend mit hinterlegt.

Bei Bowman Geräten mit programmierbarem XY-Tisch – P, L, O, M, W-Serie – können die einprogrammierten Messpunkte ebenfalls der Anwendung (Kalibrierung) zugeordnet werden. Ebenso sind aber auch das linienförmige oder netzförmige Abrastern oder das linienförmige unterbrechungsfreie Scannen möglich.

Übersichtliche Darstellungen der Bedienoberfläche für die Tagesroutine, leicht durch den Nutzer selbst zu erstellende Kalibrierungen und Anwendungen, erweiterte Funktionalitäten für Vielnutzer, ein anpassbarer 1-Click Berichtsgenerator sowie Datenexporte im PDF- oder CSV-Format, sind nur einige Merkmale, die die Bedienung des Bowman für jeden Anwender leicht, flexibel und umfassend einsetzbar machen.

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