M-Serie

Die M-Serie ist das Nonplusultra in der Hochleistungs-Schichtdickenmessung für kleinste Merkmale. Die Polykapillaroptik der M-Serie ist fortschrittlicher als die O-Serie und fokussiert den Röntgenstrahl auf 15μm FWHM. Zur Messung von Merkmalen in diesem Maßstab ist eine Kamera mit 150-facher Vergrößerung und einem noch höheren Digitalzoom im Lieferumfang enthalten. Das Sichtfeld wird mit höherer Vergrößerung stärker eingeschränkt, weshalb eine zweite Kamera ein Makrobild des zu messenden Teils aufnimmt. Das Doppelkamerasystem ermöglicht es dem Bediener, das gesamte Teil zu sehen, auf das Bild zu klicken, um es mit der hochauflösenden Kamera zu vergrößern und das zu messende Merkmal zu zeigen.

Mit dem hochpräzisen, programmierbaren XY-Tisch können mehrere Punkte ausgewählt und gemessen werden; die Mustererkennungssoftware kann dies auch automatisch tun. Es gibt ein 2-D-Mapping-System, mit dem die Topografie einer Beschichtung auf der Oberfläche eines Teils, z.B. eines Silizium-Wafers, dargestellt werden kann. Die Standardkonfiguration umfasst die 15μm Optik und einen hochauflösenden SDD-Detektor zur Verarbeitung der höheren Zählraten. Ein programmierbarer XY-Tisch ist ebenfalls Standard. Das Optiksystem hat eine kleinen Messabstand. Daher müssen die mit der M-Serie zu messenden Proben flach sein.