Röntgenfluoreszenzanalyse

M-Serie

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Messprinzip: von oben nach unten
Röntgenröhre:: 50W Mikrofokus Röntgenröhre mit Molybdän-Anode
Optik: Polykapillare mit 15µm FWHM
Detektor: SDD-Detektor
Messabstand: fester Abstand 1,27mm
XY-Tisch:: hochpräziser, programmierbarer XY-Tisch, Verfahrweg 165 x 165mm
Element Bereich: Aluminium 13 bis Uran 92

Die M-Serie ist das Nonplusultra in der Hochleistungs-Schichtdickenmessung für kleinste Merkmale. Die Polykapillaroptik der M-Serie ist fortschrittlicher als die O-Serie und fokussiert den Röntgenstrahl auf 15μm FWHM. Zur Messung von Merkmalen in diesem Maßstab ist eine Kamera mit 150-facher Vergrößerung und einem noch höheren Digitalzoom im Lieferumfang enthalten. Das Sichtfeld wird mit höherer Vergrößerung stärker eingeschränkt, weshalb eine zweite Kamera ein Makrobild des zu messenden Teils aufnimmt. Das Doppelkamerasystem ermöglicht es dem Bediener, das gesamte Teil zu sehen, auf das Bild zu klicken, um es mit der hochauflösenden Kamera zu vergrößern und das zu messende Merkmal zu zeigen.

Mit dem hochpräzisen, programmierbaren XY-Tisch können mehrere Punkte ausgewählt und gemessen werden; die Mustererkennungssoftware kann dies auch automatisch tun. Es gibt ein 2-D-Mapping-System, mit dem die Topografie einer Beschichtung auf der Oberfläche eines Teils, z.B. eines Silizium-Wafers, dargestellt werden kann. Die Standardkonfiguration umfasst die 15μm Optik und einen hochauflösenden SDD-Detektor zur Verarbeitung der höheren Zählraten. Ein programmierbarer XY-Tisch ist ebenfalls Standard. Das Optiksystem hat eine kleinen Messabstand. Daher müssen die mit der M-Serie zu messenden Proben flach sein.

 
Spezifikationen:

Röntgenanregung

50 W (50kV, 1mA) Mikrofokus Röntgenröhre mit Mo-Anode und 15µm Polykapillaroptik FWHM

 

Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen

5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan

Detektor

SDD-Detektor mit 135eV Auflösung oder besser

 

Filter

4 Primärfilter

Fokusabstand

Fester Fokusabstand 1,27mm

 

Digitaler Pulsprozessor

Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler

Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit

Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur

Video Vergrößerung

250x: mit Dualkamera

45x: mit Single Kamera auf 15“ Bildschirm

 

Prozessor:

Intel, CORE i5 3470 (3.2GHz), 8GB DDR3 Speicher,

Microsoft Windows 10 Prof, 64bit equivalent

Umgebungsbedingungen:

20°C bis 25°C und bis zu 98% Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend

 

Kamera:

1/4″ CMOS-1280×720 VGA Auflösung

Gewicht

70kg

 

Netzanschluss:

150W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47Hz bis 63Hz

Programmierbarer XY-Tisch:

Größe: 431 x 406mm Verfahrweg: 165 x 165mm hochpräzis

 

Maße (H x B x T):

Kammer: 137mm, 310mm, 340mm

Außenmaße: 500mm, 450mm, 600mm

Element Bereich

Aluminium 13 bis Uran 92

   

Neben der Messung der Schichtdicke leisten alle Bowman Schichtdickenmessgeräte auch die Analyse der Zusammensetzung der Schicht – Ausnahmen: leichte organische Elemente oder Elementgehalte unterhalb der Nachweisgrenze der jeweiligen Messanordnung. Die Bestimmung der Elemente der Schicht – meist handelt es sich um metallische Elemente oder Legierungen – erfolgt zeitgleich mit der Messung der Schichtdicke.

Die Analyse der Legierung ist also einfach handhabbar, zuverlässig im Ergebnis und schnell in der Umsetzung. In der Anwendung (Kalibrierung) wird diese Messaufgabe entsprechend mit hinterlegt.

Bei Bowman Geräten mit programmierbarem XY-Tisch – P, L, O, M, W-Serie – können die einprogrammierten Messpunkte ebenfalls der Anwendung (Kalibrierung) zugeordnet werden. Ebenso sind aber auch das linienförmige oder netzförmige Abrastern oder das linienförmige unterbrechungsfreie Scannen möglich.

Übersichtliche Darstellungen der Bedienoberfläche für die Tagesroutine, leicht durch den Nutzer selbst zu erstellende Kalibrierungen und Anwendungen, erweiterte Funktionalitäten für Vielnutzer, ein anpassbarer 1-Click Berichtsgenerator sowie Datenexporte im PDF- oder CSV-Format, sind nur einige Merkmale, die die Bedienung des Bowman für jeden Anwender leicht, flexibel und umfassend einsetzbar machen.

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