Röntgenfluoreszenzanalyse

A-Serie

bowman_A-Serie
Messprinzip: von oben nach unten
Röntgenröhre:: 50 W Mo Röhre mit Flex-Beam Kapillaroptik
Detektor: Großflächen SDD mit
Messabstand: Fest mit 0,5mm
Element Bereich: Aluminium bis Uran
Die A-Serie ist das 8. Modell der RFA-Geräte Serie von Bowman. Wie die anderen Geräte des Portfolios kann
sie gleichzeitig bis zu 5 Schichten analysieren und mittels der fortschrittlichen Archer-Software quantifizieren.
Die Archer-Software kombiniert intuitive visuelle Bedienelemente mit zeitsparenden Tastenkombinationen,
umfangreichen Suchfunktionen und "Ein-Klick"-Berichten.
Die Software bietet auch die einfache Erstellung neuer Anwendungen durch den Nutzer.
Spezifikationen:

Röntgenanregung

50 W Mo Röhre mit Flex-Beam Kapillaroptik @7,5 FWHM

Optional: Cr oder W

Detektor

Großflächen SDD mit < 135eV Auflösung

Fokusabstand

Fest mit 0,5mm

Bildvergrößerung

140X mit Mikrokamera

7X Digital Zoom

9X mit Makrokamera & Vogelperspektive

Umgebungsbedingungen

20°C bis 25°C und bis zu 98% Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend

Gewicht

1000kg

Programmierbarer XYZ Tisch

XYZ Bewegung: 600mm x 600mm x 100mm

XY Tischfläche: 560mm x 585mm

X & Y-Achse Genauigkeit: 1μm

Z-Achse Genauigkeit: 1μm

Elementbereich

Aluminium bis Uran

 

Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen

5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht

Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan

Primärfilter

4 Primärfilter

Digitaler Pulsprozessor

Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler

Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit

Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur

Prozessor

Intel, CORE i5 9te Gen. Prozessor (4,1GHz), 16GB RAM,

Microsoft Windows 10 Prof, 64bit

Kamera

1/4" CMOS-1280×720 VGA Auflösung

Netzanschluss:

720W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47Hz bis 63Hz

Maße (BxTxH)

Kammer: 1400mm x 1470mm x 100mm

Außenmaße: 1470mm x 1575mm x 1780mm

Weitere neue Ausstattungsmerkmale

Z-Achsen Kollisionsschutz, Autofokus,

Fokuslaser, Mustererkennung,

Vorbereitet für die Richtlinie SEMI S2/S8

Neben der Messung der Schichtdicke leisten alle Bowman Schichtdickenmessgeräte auch die Analyse der Zusammensetzung der Schicht – Ausnahmen: leichte organische Elemente oder Elementgehalte unterhalb der Nachweisgrenze der jeweiligen Messanordnung. Die Bestimmung der Elemente der Schicht – meist handelt es sich um metallische Elemente oder Legierungen – erfolgt zeitgleich mit der Messung der Schichtdicke.

Die Analyse der Legierung ist also einfach handhabbar, zuverlässig im Ergebnis und schnell in der Umsetzung. In der Anwendung (Kalibrierung) wird diese Messaufgabe entsprechend mit hinterlegt.

Bei Bowman Geräten mit programmierbarem XY-Tisch – P, L, O, M, W-Serie – können die einprogrammierten Messpunkte ebenfalls der Anwendung (Kalibrierung) zugeordnet werden. Ebenso sind aber auch das linienförmige oder netzförmige Abrastern oder das linienförmige unterbrechungsfreie Scannen möglich.

Übersichtliche Darstellungen der Bedienoberfläche für die Tagesroutine, leicht durch den Nutzer selbst zu erstellende Kalibrierungen und Anwendungen, erweiterte Funktionalitäten für Vielnutzer, ein anpassbarer 1-Click Berichtsgenerator sowie Datenexporte im PDF- oder CSV-Format, sind nur einige Merkmale, die die Bedienung des Bowman für jeden Anwender leicht, flexibel und umfassend einsetzbar machen.

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