Röntgenfluoreszenzanalyse

P-Serie

Messprinzip: von oben nach unten

Röntgenröhre:: 50W Mikrofokus Röntgenröhre mit Wolfram-Anode

Detektor: SiPIN, optional SDD

Messabstand: mehrere Fokusabstände mit Fokuslaser

XY-Tisch:: programmierbarer XY-Tisch, Verfahrweg 127 x 152mm, größere Tische optional

Z-Achse: motorisiert, Verfahrweg 132mm

Element Bereich: Aluminium 13 bis Uran 92

Die P-Serie bietet höchste Flexibilität, verschiedenste Probengrößen, -formen und -mengen zu messen. Sie ist mit einem programmierbaren Präzisions-XY-Tisch ausgestattet, der mehrere Vorteile gegenüber einem festen Tisch hat. Die Messpunkte können einfach per Maus angesteuert werden. Das Anfahren mehrerer Messpositionen kann vom Kunden leicht einprogrammiert werden. Größere Teilevolumina können ohne Bedienereingriff im automatischen Modus

mit dem präzisen und automatisierten XY-Tisch gemessen werden. Die Standardkonfiguration umfasst vier Kollimatoren und eine Kamera mit variablem Fokus für Messungen in vertieften Bereichen. Kollimatoren und Fokusabstände können an die Anwendung angepasst werden. Eine langlebige Mikrofokus-Röntgenröhre und ein SiPIN-Detektor sind Standard; ein SDD-Detektor ist optional erhältlich.

Spezifikationen:

Röntgenanregung

50 W (50kV, 1mA) Mikrofokus Röntgenröhre mit W-Anode

Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen

5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan

Detektor

SiPIN-Detektor mit 190eV Auflösung oder besser

Filter / Kollimatoren

4 Primärfilter / 4 motorisierte Kollimatoren

Fokusabstand

Mehrere Fokusabstände mit Fokuslaser

Digitaler Pulsprozessor

Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler

Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit

Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur

Video Vergrößerung

30x: Standard

Prozessor:

Intel, CORE i5 3470 (3.2GHz), 8GB DDR3 Speicher,

Microsoft Windows 10 Prof, 64bit equivalent

Umgebungsbedingungen:

10°C bis 40°C und bis zu 98% Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend

Kamera:

1/4″ CMOS-1280×720 VGA Auflösung

Gewicht

32-50kg

Netzanschluss:

150W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47Hz bis 63Hz

Programmierbarer XY-Tisch:

Größe: 380 x 330mm Verfahrweg: 127 x 152mm

Programmierbarer erweiterter XY-Tisch:

Größe: 635 x 635mm Verfahrweg: 250 x 250mm

Maße (H x B x T):

Kammer: 140mm, 310mm, 335mm

Außenmaße: 450mm, 450mm, 600mm

Element Bereich

Aluminium 13 bis Uran 92

Stichworte:

Neben der Messung der Schichtdicke leisten alle Bowman Schichtdickenmessgeräte auch die Analyse der Zusammensetzung der Schicht – Ausnahmen: leichte organische Elemente oder Elementgehalte unterhalb der Nachweisgrenze der jeweiligen Messanordnung. Die Bestimmung der Elemente der Schicht – meist handelt es sich um metallische Elemente oder Legierungen – erfolgt zeitgleich mit der Messung der Schichtdicke.

Die Analyse der Legierung ist also einfach handhabbar, zuverlässig im Ergebnis und schnell in der Umsetzung. In der Anwendung (Kalibrierung) wird diese Messaufgabe entsprechend mit hinterlegt.

Bei Bowman Geräten mit programmierbarem XY-Tisch – P, L, O, M, W-Serie – können die einprogrammierten Messpunkte ebenfalls der Anwendung (Kalibrierung) zugeordnet werden. Ebenso sind aber auch das linienförmige oder netzförmige Abrastern oder das linienförmige unterbrechungsfreie Scannen möglich.

Übersichtliche Darstellungen der Bedienoberfläche für die Tagesroutine, leicht durch den Nutzer selbst zu erstellende Kalibrierungen und Anwendungen, erweiterte Funktionalitäten für Vielnutzer, ein anpassbarer 1-Click Berichtsgenerator sowie Datenexporte im PDF- oder CSV-Format, sind nur einige Merkmale, die die Bedienung des Bowman für jeden Anwender leicht, flexibel und umfassend einsetzbar machen.

P-Serie

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